발명특허가 세계적으로 부각되고 있는 현시대에 다양한 특허품으로 2010년 발명의 날에 발명진흥회장표창을 받은 대학원 재생에너지학과의 표성규 교수. 이 날은 다양한 소재와 분야를 이용한 융합성 연구로 국내의 200여개 특허출원을 해왔던 표 교수의 실력을 입증 받은 날이었다. 교수로 부임하기 전에 현대전자 메모리 연구소에서 발명왕상, 하이닉스 시스템 IC 연구소에서 발명왕상, 매그나칩에서 특허대상을 받은 적도 있다. 가장 놀라운 것은 세계 3대 인명사전 중 하나인 미국 마르퀴즈 후즈후(Marquis Who's Who in the World)에 Applied Scientist로 표 교수의 이름이 등재 돼 있는 것이다.
소감을 묻자 표 교수는 “특허 발명 및 벤처 창업에 대한 체계적인 기초교육이 대학에서부터 이루어져야 성장 동력이 창출된다”고 전제하고 “기초 연구의 토대위에 창의적인 지식개발에 학생들과 학교가 앞장서서 발명특허 분야도 논문 못지않게 파격적으로 우대해 주는 풍토가 조성되어야 한다고 생각합니다.”라며 의미 있는 말을 전했다.
<표성규 교수>
3차원 집적공정
요즘은 반도체 소자 및 공정의 미세화 기술은 한계에 직면하고 있고, 새로운 패러다임을 요구하는 기술개발이 필요로 되고 있는 실정이다. 특히 CMOS Image Sensor의 경우는 이미 수광 효율의 한계에 직면하여 소형화 및 고성능화를 하기 위해서는 3차원집적 공정 기술이 필수적으로 부각되어야 하는데 표 교수의 연구 관심분야가 ‘3차원 집적공정 기술’이다. 표 교수는 첫 번째로 8인치 반도체 전용 Fab에서 MEMS-Sensor 3축 센서 engineering sample을 얻는데 성공하였다. 양산화의 어려움을 반도체 Fab공정으로 양산화의 길을 열었다는데 의의를 가진다. 두 번째로 water bonding, thinning, plating 기술을 적용한 3차원 집적공정 기술설정을 이용한 차세대 선행 CIS 개발을 주도해 가능성을 인정받아 IEDM에 발표되었다는 것이다. 3GSM에서 관련 샘플을 전시하는데 성공하였고, 현재는 양산성 검증을 위한 연구개발을 진행하고 있다고 한다.
3차원 집적공정(3D Integration)기술에 대한 알기 쉬운 설명을 부탁드렸더니, 예를 들어준다. “휴대폰에 들어가는 반도체칩들을 2차원적으로 옆으로 늘어놓으면 면적이 매우 커서 휴대폰이 커지겠지요. 그런데 이런 칩들을 건물 쌓듯이 쌓아놓으면 면적도 매우 줄어들고 각 쌓는 층들에 서로 다른 기능들이 들어가면 여러 기능이 있는 복합된 하나의 칩으로 만들 수가 있습니다. 즉, 다기능성을 가지며 매우 소형화된 융복합화된 시스템을 3차원 집적공정을 통하여 구현할 수 있다는 것입니다.” 라며 알기 쉽게 설명해줬다.
<표성규 교수가 개발한 BSI 씨모스 이미지센서를 이용하여 찍은 사진>
비빔밥 같은 융합연구
표 교수가 화려한 성적을 거둘 수 있었던 것은 다양한 공정에 대한 연구 덕분이었다. 학부 때는 세라믹소재공학 전공, 석, 박사 때는 재료/금속공학 전공, 교토대학에서는 변형결함분석을 연구, MIT에서는 계면현상 연구를 함으로써 이 분야의 공부의 폭을 넓혔다. 현대전자, 하이닉스에서 메모리, 로직 반도체, 멤스 센서 연구를 진행하였고, 12년 동안 신소재 뿐 아니라 다양한 공정분야를 섭렵해서 지금은 다양한 맛을 낼 수 있는 비빔밥 같은 융합 연구를 순조롭게 진행할 수 있는 것이다.
매사에 진심을 담아
오랫동안 연구를 해온 표성규 교수만의 연구철학은 당연히 존재했다. 바로 ‘진심’이었다. 사람에 대하여, 연구에 대하여 진심은 통한다고 생각한 그는, 진심을 가지고 열정을 쏟게 되면 좋은 결과가 돌아 올 것이라 확신하면서 연구에 임했다고 했다. 기계나 실험장비에도 사람 대하듯 정성을 쏟고, ‘Carpe Diem'이란 말처럼 현재를 충실히 하고 일을 즐거운 마음으로 수행해 나간다면 자신이 그리는 꿈에 다가서리라고 기대했다고 한다.
연구과정의 명과 암
항상 새로운 것에 관심이 많아 학부, 연구원 시절에 가장 최신 연구주제를 선택하여 기획했다고 한다. 기존의 존재하지 않았던 연구였기에 프로젝트를 기획하는 과정에서부터 힘이 들어 포기하고 싶은 적도 많았었다. 하지만 휴대폰에 들어가는 가속도 센서를 개발한 뒤 실제 작동모습을 봤을 때, 고화질 BSI이미지를 얻어 스페인 GSM에 전시된 것을 봤을 때와 같은 성과를 드러냈을 때 희열을 느꼈다고 한다. 어려운 환경에 처했을 때 긍정의 분위기로 이끌어준 은사님과 목사님들 덕분에 긍정의 힘과 성실의 힘과 평안의 힘을 얻어 마음을 바로 잡을 수 있었다고 했다.
앞으로의 계획
표성규 교수에게 앞으로의 연구계획을 묻자 망설임 없이 ‘능동형 인공 눈’을 만들고 싶다고 했다. 능동형 인공 눈은 재난 환경 감시체계와 국방 분야에 활용될 수 있으며, 반도체 공정과 결합하여 그린 에너지 개발에도 기여할 수 있는 분야다. 융합연구인 능동형 인공 눈 제작을 중앙대에서 실현하고 싶다는 표성규 교수는 여러 전문가들과의 협동 연구를 지향하는 바이다.
<올해 4월, IT전문포털사이트에 게재된 기사>
중앙대 학생들에게
중앙대학교 학생들을 위해 한 마디 해달라는 부탁에 표성규 교수는 “배려하는 마음을 가지란 말을 먼저 하고 싶습니다. 너무 손익을 따지는 사회분위기인 탓인지 모르겠지만 이 각박한 사회에 사람에게 배려하는 마음을 가지고 진심으로 대하면 좀 더 풍성해지고 윤택해지지 않을까요?” 라며 학생들에게 고운 심성을 강조하였다. 학창시절 틀에 얽매이는 생활보다는 항상 새로움에 도전할 수 있는 기반을 다져보라는 당부의 말도 아끼지 않았다. 마지막으로 영화 ‘죽은 시인의 사회’ 선생님의 말씀을 인용해 현재에 충실하고 이 순간 순간을 즐기며 일하게 된다면, 남을 배려할 줄 알고 창조력을 겸비한 중앙학우가 될 수 있을 것이라고 조언해주었다.
겸손으로 일관하시며 너그러운 미소로 인터뷰에 응해주신 표성규 교수님에게 감사의 말씀을 전한다. 앞으로도 교수님의 끊임없는 열정이 우리나라 과학기술 및 지식강국의 토대가 되길 기대해 본다.
*프로필
2010- : 중앙대학교 나노바이오소재공학과/ 재생에너지학과 부교수
2006- : Who's Who in the world (Marqui's Who's Who) 세계 인명 사전 등재
2007-2010 : Magnachip반도체, 수석전문연구원(Technical Member)
2005-2010 : Magnachip반도체(구 Hynix System IC)SYSTEM IC 연구소, 수석연구원
2000-2005 : 하이닉스/Magnachip반도체 메모리연구소/SYSTEM IC 연구소 , 책임연구원
1998-1999 : 현대전자 메모리연구소, 선임연구원
1997-1998 : 포항공대 항공재료연구센터, Post-Doc
1996-1997 : MIT(Massachusetts Institute of Technology), USA, Post-Doctoral Associate
1994-1995 : Kyoto University, JAPAN, AIEJ
취재 : 홍보대사 홍지원(청소년학과)